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FT型快速退火炉选型和技术参数

时间: 2019-03-07 12:58:37 浏览次数:
简介: FT型快速退火炉选型上可供参考的型号有:快速烧结炉、RTP退火炉、快速升降温炉、快速炉、RTP快速退火炉,进口快速退火炉,采用大功率红外线辐射方式,配合腔体内镀金反射层,
       FT型快速退火炉选型上可供参考的型号有:快速烧结炉、RTP退火炉、快速升降温炉、快速炉、RTP快速退火炉,进口快速退火炉,采用大功率红外线辐射方式,配合腔体内镀金反射层,使单片硅片快速升温。降温时红外线灯管停止工作,大流量压缩空气(或冷却氮气)迅速带走腔体内热量,实现快速降温。
二、快速退火炉主要技术参数(下述参数可根据需求调整)
1、外型形式:台式,单片硅片
2、硅片尺寸:156*156方片,2-8寸硅片
4、额定工作温度:1000 ℃
5、单点温度稳定性、重复性:±0.5 ℃
6、温度均匀性:±1℃(900℃以上)
7、升温速率:0 - 100 ℃/S 可调
8、降温速率:0 - 100 ℃/S 可调
9、恒温时间:0 - 600 S
10、加热功率:18根(每根1.5KW)红外线灯管,总功率27KW
11、铝合金炉膛:铝合金水冷镀金炉膛,导热性能好,有效提高降温速率
12、石英炉膛:可拆卸结构,当炉膛内被烟雾污染导致升温速率降低时,可将石英炉膛拆下清洗
FT型快速退火炉选型和技术参数

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